凈化工程要控制溫濕度具體措施有哪些？

       潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，首選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，達(dá)到定的溫濕度等。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染，特別是鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。（凈化工程）

濕度過高會產(chǎn)生很多問題，相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。那么凈化工程要控制溫濕度具體有什么措施？下面由科銳特凈化科技有限公司列舉的幾個控制濕度的方法。（凈化工程）

對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染 侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持般應(yīng)符合以下原則：

1. 潔凈度別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度別低的空間的壓力。

2. 相通潔凈室工程之間的門要4開向潔凈度別高的房間。

3. 潔凈空間的上海風(fēng)淋室壓力要高于非潔凈空間的壓力。

       壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量 通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。（凈化工層）

對于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求：

    1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。

    2.吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這速度般不宜大干0.2m/s。